1.換氣次數(shù)。

       花費因素變量：-0.08至0.19

　　潔凈室內(nèi)的空氣分配設(shè)備(通常是吊頂過濾器)被設(shè)計成“噴淋式”，用來提供統(tǒng)一的、潔凈的已過濾的空氣。向房間補(bǔ)給的空氣量，讓人想起與普通的淋浴噴頭相反的消防龍頭。美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E、日本標(biāo)準(zhǔn)JISB9920和ISO標(biāo)準(zhǔn)14644-1的標(biāo)題是：潔凈室外和相關(guān)控制環(huán)境——第一部分：清潔空氣的分級。這些標(biāo)準(zhǔn)提供了潔凈室參數(shù)、分級和檢測方法的指導(dǎo)方針，但并未說明如何經(jīng)濟(jì)有效地達(dá)到要求。這是因為每種生產(chǎn)過程和潔凈室外的要求是不同的，因此，可以采用不同的再循環(huán)空氣量，達(dá)到預(yù)期的環(huán)境要求。

　　至少有五種不同的“可能”設(shè)計能夠達(dá)到預(yù)期的結(jié)果，然而只有一種設(shè)計是最佳方案。為項目尋找最佳和最經(jīng)濟(jì)的解決方案，是潔凈室外換氣項目的最基本的目標(biāo)理念。

　　如表1所示，換氣次數(shù)和再循環(huán)數(shù)量變化對于確定房間的級別是十分重要的。例如，通過300次的換氣次數(shù)能夠達(dá)到M2級潔凈室的要求，但也可能540次的換氣次數(shù)仍不能滿足要求。

　　房間內(nèi)污染物的比率和實際微粒產(chǎn)生情況，是影響潔凈室空氣換氣次數(shù)的主要因素。在生產(chǎn)過程中，不對其他因素產(chǎn)生任何影響的情況下，清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影響再循環(huán)空氣數(shù)量的因素是：房間的結(jié)構(gòu)、設(shè)備的位置、設(shè)備表面溫度、空氣對流、氣流類型(單向通過敏感區(qū)或者通過全空間)、操作空間和規(guī)章、使用的材料和化學(xué)藥品等。

　　潔凈室可能需要在靜態(tài)下進(jìn)行鑒定，在工況下進(jìn)行鑒定，對生產(chǎn)過程進(jìn)行確認(rèn)或者cGMP認(rèn)證。由綜合服務(wù)管理部制定的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209(e)，建議100或90fpm。然而有可能建立一個空氣流動速度較低，但比100級潔凈度更高的潔凈室。實際上，已經(jīng)有潔凈室的空氣流動速度是45cfm/平方英尺。

　　2.單向的、紊流的、垂直或水平氣流。

　　花費因素變量：-0.073至0.18

　　在許多案例中，單向氣流只在小空間和潔凈室的敏感區(qū)域內(nèi)使用，并且使用微環(huán)境。污染物的源頭可能存在于手套箱、過濾模塊等地方。多數(shù)設(shè)計為整體單向氣流潔凈室外的方案，只有在這些區(qū)域中沒有作業(yè)者、生產(chǎn)設(shè)備和排風(fēng)裝置時才能實現(xiàn)單向氣流。垂直或水平氣流的選擇，取決于房間的結(jié)構(gòu)和設(shè)備的安放位置，紊流就可以將污染物帶走。

　　潔凈室內(nèi)的架空地板是用來掩蓋工具、設(shè)備與動力設(shè)備之間的電線、通訊電纜、水電、管道的連接的。后來，為了節(jié)約成本，在“bay-and-chase”式的潔凈室結(jié)構(gòu)中，這些架空地板被當(dāng)作從港灣到夾層的回內(nèi)通道。在完全單向氣流的潔凈室內(nèi)，人們希望微粒從工作區(qū)域流到帶小孔的地板下。我們已經(jīng)成功的建立了10級和100級的潔凈室，在這些潔凈室內(nèi)沒有架空地板，采用墻下部回風(fēng)系統(tǒng)，而且潔凈室的氣流被設(shè)計成紊流。

　　另個一種辦法是用薄的空氣噴射裝置隔離超清潔區(qū)域，這種空氣噴射的速度是每分鐘500到800英尺。它的功能類似于塑料門簾。

　　3.空氣過濾。

       花費因素變量：-0.032至0.10

　　采用未端HEPA過濾器對空氣進(jìn)行過濾，0.3到0.5微米的去除效率為99.99%,0.12微米的去除效率為99.999%;若使用ULPA過濾器，0.12微米的去除效率為99.99995%。

　　根據(jù)潔凈室外的用途，也可以選擇其他的設(shè)備，例如，在循環(huán)風(fēng)加新風(fēng)處理系統(tǒng)中，使用HEPA過濾器用碳吸附或相似功能的合成過濾器處理VOC，靜電過濾箱，等等。

　　在潔凈室市場上，風(fēng)機(jī)過濾不再是新產(chǎn)品，正確的應(yīng)用它可以為許多高水平潔凈室提供卓越的、經(jīng)濟(jì)的解決方案，尤其是在吊頂高度有限的建筑內(nèi)。已證明降低成本和減小過濾器的壓降(在潔凈室壽命期內(nèi)，使用低等級過濾器，長時間采用高壓降方式運(yùn)轉(zhuǎn)，所帶來的效益并不總是十分明顯)。

　　4.空氣處理器。

       花費因素變量：-0.07至0.15

　　新風(fēng)處理空調(diào)箱[Make-upAHUs]。典型的新風(fēng)處理空調(diào)箱(初級AHUs)為循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱(二級AHUs)提供必需的新風(fēng)。新風(fēng)由離心排風(fēng)機(jī)、軸流或plug風(fēng)機(jī)加上過濾器、預(yù)熱和再熱用熱水盤管、冷卻和除濕使用的冷凍水盤管、蒸汽和絕熱加濕器等組成。附件和差異包括靜電空氣混合器、蒸汽預(yù)熱盤管、超聲波加濕器、鹽水、除濕用的直接交換[Dx]或乙二醇低溫冷凍盤管、VOC吸附過濾器、噪聲衰減器，VFP(變頻)驅(qū)動等。

　　最近12年，M&I傳熱產(chǎn)品公司(位于米西所加，網(wǎng)址：www.miair.com)成功地研制和生產(chǎn)了非常經(jīng)濟(jì)、可靠的風(fēng)機(jī)系統(tǒng)。這些系統(tǒng)工作起來非常安靜，并且消耗的能源很低，通常比離心式或plug風(fēng)機(jī)系統(tǒng)能耗少20%。

　　新風(fēng)處理空調(diào)箱通道是將空氣注入集管，再通過支管系統(tǒng)給循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱提供新風(fēng)。在初級和二級風(fēng)管上進(jìn)行空氣測量，并調(diào)節(jié)送風(fēng)機(jī)、VFD或進(jìn)口風(fēng)閥以便恒定風(fēng)量。Magnahelic講量器臨測安裝在各個空調(diào)箱內(nèi)HEPA過濾器布袋過濾器和預(yù)過濾器的荷載。有吊頂風(fēng)機(jī)過濾器的情況下，新風(fēng)處理空調(diào)箱出來的空氣進(jìn)入循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱再送出。

　　循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱(RecirculationAHUs)。典型的循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱由高效離心式風(fēng)機(jī)、過濾器和濕熱(干)冷盤管組成。附加和差異包括用于局部溫度控制的再熱盤管、用于局部濕度控制的蒸汽或超聲波加濕器、風(fēng)量恒定控制箱。這種采用Whisper-AirandCompacSpace風(fēng)機(jī)系統(tǒng)的方式提供了一種節(jié)約成本和充分使用能源的選擇。

　　多重循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱通過送風(fēng)管，再經(jīng)過ULPA過濾器或HEPA過濾器，將空氣送入潔凈室，在潔凈度等級為10級和1級的潔凈間的吊頂上，這些過濾器通常是100%覆蓋。垂直單向氣流向下通過潔凈間，穿過帶孔的架空地板磚進(jìn)入地板下面的回風(fēng)空間，再通過垂直回風(fēng)夾道向上進(jìn)入吊頂回風(fēng)靜壓箱。然后，空氣再次進(jìn)入循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱，以上的空氣循環(huán)再次重復(fù)。如果是使用吊頂風(fēng)機(jī)過濾器，在風(fēng)機(jī)過濾器上面的吊頂空間時，可以安裝水或直接交換冷卻[DX-cooled]風(fēng)機(jī)盤管實現(xiàn)表面冷卻。

　　5.空氣壓差。

       花費因素變量：-0.041至0.08

　　潔凈室增壓是必須的，它的作用是確保潔凈室遠(yuǎn)離其臨近區(qū)域的污染，控制有害污染物的流向，防止不同區(qū)域間的交叉污染，并幫助保持所要求的溫度和濕度水平。

　　潔凈室與相關(guān)走廊、設(shè)施內(nèi)的其他區(qū)域的壓差應(yīng)維持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之間。一般制藥企業(yè)所要求的壓差值比這更高，在不同區(qū)域之間采用層疊壓差來避免交叉污染。在不同的區(qū)域間安裝一系列的層疊式氣閘和允許空氣快速擴(kuò)散的正壓門，從而產(chǎn)生壓差。好的微電子潔凈室設(shè)計中，通常在潔凈室的入口安裝一個半密封的氣閘來使壓差保持在0.02到0。005in.w.g.之間。更衣間和穿衣間用氣閘分離。入口入的機(jī)械風(fēng)淋相對于它的必要性而言，更是設(shè)施文化和潔凈室的原則問題。

　　許多微電子和光刻潔凈室成功地采用被動氣壓控制，只有在大門全部打開的情況下，入口處的風(fēng)量維持在每分鐘50到100英尺。一些生物制藥企業(yè)要求主動壓差控制，采用補(bǔ)充新風(fēng)的方式，自動補(bǔ)足通過門泄漏的空氣(當(dāng)門打開時)。

　　壓差臨測器用來完成這個任務(wù)，例如HenryG.Dietz公司的產(chǎn)品(長島市，紐約;www.lowpressure.com)。監(jiān)視器可能被安裝在潔凈室外面，而在潔凈室內(nèi)有一個LED的顯示器，該顯示器帶有一個聲音報警裝置和兩個指示器，可以表示氣壓的正常與否。這種設(shè)備在生物制藥潔凈室中有生物限制要求的區(qū)域內(nèi)通常用來測負(fù)壓值，而在電子類潔凈室內(nèi)，通常用來檢測負(fù)壓值，而在電子類潔凈室內(nèi)，通常用來檢測正壓值。它帶有數(shù)字壓差顯示器，顯示的精確度是0.001in.w.c.,測量壓力值或真空度的范圍是0.5in.w.c。壓差通過閃亮LED和自動報警裝置來表示。當(dāng)打開大門時，設(shè)備內(nèi)部有一個可調(diào)整的延遲報警時間，用來避免啟動聲音報警裝置。

　　6.溫度控制。

       花費因素變量：-0.0321至0.15

　　溫度和濕度的變化能夠引起生產(chǎn)設(shè)備的誤差，從而影響生產(chǎn)過程的可重復(fù)性，最終導(dǎo)致產(chǎn)品合格率降低、增加浪費。因此，潔凈室對溫度嚴(yán)格控制要求是顯而易見的，這項花費是必須的。

　　通常情況下，要求工程師在設(shè)計時降低施工費用，同時要求在很大區(qū)域內(nèi)對溫度進(jìn)行精確的控制，允許的溫度變化范圍在±4到6華氏度之間(例如使用卷簾門的倉庫)。在沒有硬墻和氣閘裝置時，這將是十分苛刻的要求，并且實際上無法控制濕度的變化。人們通常認(rèn)為潔凈室外的潔凈度、溫度、濕度和氣壓等項目的層疊性是非常容易達(dá)到的，并且很容易維持，但需要仔細(xì)的評估這些項目的誤差范圍。

　　如果對潔凈室內(nèi)的暖通、動力專業(yè)裝置和控制系統(tǒng)有嚴(yán)格要求，例如潔凈室的溫度控制要求為正負(fù)0.1華氏度所用花費，可能比基準(zhǔn)點為70華氏度，±2.0度(即標(biāo)準(zhǔn)要求68到72華氏度)的高出20%到50%。

　　在每個潔凈室區(qū)域內(nèi)，有局部自動調(diào)溫器來控制設(shè)計溫度。它能驅(qū)動安裝在風(fēng)管上的局部再熱或再冷盤管工作，來滿足房間內(nèi)的濕熱的要求。如果使用風(fēng)機(jī)盤管裝置，局部自動調(diào)溫器控制本區(qū)域內(nèi)盤管出口空氣的溫度。

　　7.溫度控制。

       花費因素變量：-0.034至0.19

　　每個潔凈室內(nèi)的相對濕度，通過局部濕度調(diào)節(jié)器來進(jìn)行控制。如果窨內(nèi)的相對濕度較高，恒濕器通過降低冷凍盤管流出空氣的溫度來加強(qiáng)除濕。同時，再熱盤管提供熱量來保持窨的溫度。任何一個潔凈間的相對濕度超出了設(shè)計范圍，局部恒濕器將啟動安裝在風(fēng)管上的局部濕度調(diào)節(jié)器。當(dāng)必須滿足精確的濕度控制時，通常利用空調(diào)箱中的新風(fēng)的絕熱增濕效果來實現(xiàn)，并通過潔凈室的結(jié)^***來維持。

　　濕度水平的局部變動可以通過超聲波濕度調(diào)節(jié)器進(jìn)行控制，該調(diào)節(jié)器位于最終過濾前的風(fēng)管靜壓箱內(nèi)。用水水質(zhì)為RO/DI，水電陰率在3到5mgm之間。如果相對濕度低于設(shè)計范圍，恒濕器將啟動濕度調(diào)節(jié)器來增加新風(fēng)的水分含量。如果相對濕度較高，恒濕器將降低新風(fēng)控制冷凍盤管流出空氣的^***溫度，從而加強(qiáng)除濕效果。

　　8.排風(fēng)系統(tǒng)。

       花費因素變量：-0.031至0.16

　　典型的工藝排風(fēng)系統(tǒng)包括：酸、溶劑和VOC、毒性物質(zhì)、熱和一般的房間排風(fēng)。如果廢氣中有氨氣出現(xiàn)，一些廠家會選擇使用分開的風(fēng)管系統(tǒng)和處理系統(tǒng)。使用最多、最普遍的酸消除方法，是水平或垂直氣體洗滌塔。溶劑和VOC的去除通常運(yùn)用就地或當(dāng)場高溫破壞的方法。需要認(rèn)真選擇支隊的方式及必須支隊的廢氣流量。

　　優(yōu)質(zhì)的空氣處理設(shè)備能夠?qū)U氣量降至最低，因此，在實施過程中可降低工程費用和能源浪費。保持排風(fēng)量增加的潛在需求、擴(kuò)大生產(chǎn)和安裝這些備用品所需的經(jīng)濟(jì)價值之間的平衡是十分重要的。通常情況下，考慮到潔凈室將來的擴(kuò)展，當(dāng)其它動力設(shè)備和暖通、動力專業(yè)系統(tǒng)(例如新風(fēng)和冷卻)不能滿足這種擴(kuò)充的需求時，超大的昂貴的、不銹鋼襯里的或FRP排風(fēng)系統(tǒng)就已經(jīng)建立了。沒有考慮將來的需求而建立的酸排隊系統(tǒng)也是十分普遍的。增加風(fēng)量和新的風(fēng)管支管，，就會使風(fēng)管系統(tǒng)中的風(fēng)速超過每分鐘4000英尺。這樣的系統(tǒng)保持平衡是十分困難的或不可能的，并且運(yùn)行的費用昂貴。