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技術支持
潔凈室要提供滿足工藝過程要求的合格潔凈環境,應從設計、建造、調試和運行管理各方面遵循如圖1-2所示的四個基本原則。

01防止潔凈室外的顆粒物直接侵入室內
主要采取以下技術措施:
1、潔凈室內維持正壓,防止潔凈度比該潔凈室低的周圍空氣攜帶顆粒物及其他污染物通過圍護結構的縫隙和孔洞直接進入室內;
2、采用符合要求的空氣凈化系統對送風進行過濾。經高效過濾后的空氣,不得被其后的管道、送風口等再污染,同時注意高效過濾器與安裝密封設施,以免未經高效過濾的空氣滲漏入室;
3、對進入室內的人員和物料采取合格的凈化措施,防止將污染物帶入潔凈室內。
02防止顆粒物在潔凈室內堆積、積聚
主要采取以下技術措施:
1、潔凈室圍護結構內表面不應或盡量減少突出物和溝縫,以免堆積塵埃;
2、室內的設備、管路、家具等應易于清掃;
3、設置真空清掃系統或真空掃除機,定期清掃。
03防止潔凈室內產生顆粒物
主要采取以下技術措施:
1、潔凈室內的建筑裝修材料、設備、家具、用具等應不產塵或盡可能少產塵;
2、室內人員應穿著合格的潔凈服、遵循潔凈室操作(動作、規程,以減少發塵;
3、提高工藝過程的機械化、自動化程度,這對高級別潔凈室尤為重要。

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